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瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003

產(chǎn)品簡介

瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003
型號解析(VAT命名規(guī)則)
代碼段含義
59024系列:高真空角閥
GE01法蘭類型:ISO-KF40
0003配置代碼:帶氣動執(zhí)行器

更新時間:2026-03-02
廠商性質:經(jīng)銷商
瀏覽次數(shù):636
詳細介紹
品牌其他品牌應用領域化工,能源,汽車及零部件,電氣,綜合

瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003

1. 型號解析(VAT命名規(guī)則)

代碼段含義
59024系列:高真空角閥
GE01法蘭類型:ISO-KF40
0003配置代碼:帶氣動執(zhí)行器

2. 核心參數(shù)

參數(shù)規(guī)格
真空范圍10?? ~ 1000 mbar
泄漏率≤1×10?? mbar·L/s(氦檢)
法蘭標準ISO-KF40(DN40)
閥體材質不銹鋼316L(EP拋光)
密封材料氟橡膠(FKM)/可選全金屬密封
驅動方式氣動(工作壓力4~6 bar)
響應時間≤0.5秒(開/關)
溫度范圍-20℃~150℃(標準型)

3. 結構特點

  • 超高真空設計

    • 金屬波紋管密封(零泄漏)

    • 閥板采用錐面密封(10?? mbar級密封)

  • 氣動執(zhí)行器

    • 雙作用氣缸(需配電磁閥控制)

    • 帶機械位置指示器


4. 典型應用

  • 半導體設備

    • 晶圓傳輸腔體隔離

    • CVD/PVD工藝腔

  • 科研裝置

    • 同步輻射光束線

    • 粒子加速器真空系統(tǒng)


5. 安裝要求

  • 法蘭安裝

    • 扭矩限制:10 Nm(ISO-KF40卡箍)

    • 需使用無氧銅密封圈(P/N: VAT-CU40)

  • 氣路連接

    • 驅動氣口:G1/8"(建議使用氬氣吹掃)


6. 電氣接口(需配電磁閥)

信號要求
開閥信號24V DC(驅動電磁閥)
關閥信號彈簧復位(斷電自動關閥)

7. 維護要點

項目周期操作
密封圈更換2年或10?次循環(huán)需專用夾具拆卸
波紋管檢查1年氦質譜儀檢測
驅動氣缸潤滑6個月使用PFE真空脂

8. 替代型號對比

品牌/型號差異點
VAT 59024-GE01-0004電動執(zhí)行器版
Pfeiffer VAT 58500直通閥,流量更大
NorCal UHV-40價格低20%,泄漏率略高

該型號標準交貨期為8-12周。如需 超高溫度版(300℃) 或 無磁版本,需額外增加6周定制周期。建議配套使用VAT 52X系列 電磁閥組實現(xiàn)自動控制。

瑞士VAT真空閥59024-GE01-0003

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